東(dong)莞(guan)市揖(yi)電真(zhen)空機(ji)電專(zhuan)業GXS450愛(ai)德華螺(luo)桿(gan)泵(beng)維(wei)修(xiu)，愛(ai)德華GXS450螺(luo)桿(gan)泵(beng)在(zai)（顆(ke)粒，腐(fu)蝕物）環(huan)境(jing)下(xia)有(you)著(zhe)高(gao)可靠(kao)性，例(li)如(ru)PECVD，LPCVD中。IH600工作在(zai)大氣壓和(he)極(ji)限(xian)壓力(li)之(zhi)間(jian)，無需潤滑(hua)，這樣就(jiu)確保了(le)油(you)不會被(bei)反(fan)抽到(dao)系(xi)統(tong)中。IH600系(xi)統(tong)有壹個(ge)HCDP80幹(gan)泵(beng)；HCMB-600幹(gan)泵(beng)。IH600系(xi)統(tong)適用(yong)於(yu)無風(feng)冷(leng)電機(ji)的潔(jie)凈環境(jing)中。IH600幹(gan)泵(beng)系(xi)統(tong)還(hai)擁(yong)有(you)運(yun)送(song)清潔氣體(ti)進(jin)入HCDP泵(beng)的(de)氣(qi)體系(xi)統(tong)，適用(yong)於(yu)制(zhi)程物嚴(yan)重(zhong)的工(gong)藝(yi)中(zhong)。使(shi)用(yong)在(zai)較低(di)要(yao)求(qiu)的(de)工(gong)藝下(xia)可(ke)共(gong)同改(gai)變(bian)氣(qi)體(ti)排放(fang)模式(shi)改(gai)變(bian)N2消(xiao)耗(hao)量。通過顯(xian)示終端可手(shou)動控制(zhi)真(zhen)空系(xi)統(tong)。另外，可(ke)以(yi)通過接(jie)口模塊或即時通訊模塊或IH單設備監控器(qi)使(shi)用(yong)其(qi)他控制(zhi)設備去操(cao)作IH幹(gan)泵(beng)系(xi)統(tong)。 半導(dao)體(ti)晶(jing)圓廠的(de)應用(yong)包(bao)括(kuo)： LOADLOC 傳(chuan)送 測(ce)量 光(guang)刻(ke) 物理(li)氣(qi)相沈(chen)積工藝(yi) 物理(li)氣(qi)相沈(chen)積預清潔(jie) 快速(su)熱(re)退(tui)火(huo) 去膠 蝕刻(ke) 高(gao)密度(du)等離(li)子化(hua)學(xue)氣相沈積 高(gao)密度(du)等離(li)子體化(hua)學(xue)氣相沈積快速(su)熱處(chu)理(li) 大氣化(hua)學(xue)氣相沈積sacvd 鎢化(hua)學(xue)氣相沈積等離(li)子體增強(qiang)化(hua)學(xue)氣相沈積 低(di)壓(ya)化(hua)學(xue)氣相澱(dian)積。

GX 泵(beng)的(de)峰值速(su)度(du)範(fan)圍很寬，並(bing)可以改(gai)變(bian)以(yi)適(shi)合各(ge)種應用(yong)條(tiao)件(jian)，包(bao)括(kuo)從(cong)清(qing)潔(jie)到(dao)中(zhong)等負載(zai)制(zhi)程。 模塊化(hua)設(she)計允(yun)許用(yong)戶對(dui) GX1000N幹(gan)泵(beng)進(jin)行(xing)配置(zhi)以適合各(ge)個(ge)工廠的(de)要(yao)求(qiu)。 超(chao)緊湊(cou)的(de)占地面積允許(xu)使(shi)用(yong)包(bao)括(kuo)工(gong)具上、近程(cheng)和遠(yuan)程(cheng)在(zai)內(nei)的多(duo)種(zhong)安(an)裝選項(xiang)。

GXS450愛(ai)德華螺(luo)桿(gan)泵(beng)維(wei)修(xiu)功能及(ji)優(you)勢：低(di)運(yun)行(xing)成(cheng)本與(yu) iL/iH 幹(gan)泵(beng)相(xiang)比(bi)，設施成(cheng)本最(zui)多可降低(di) 50%，無需預防(fang)性維(wei)護，靈(ling)活(huo)的(de)安(an)裝選項(xiang)小(xiao)巧(qiao)輕便(bian)，便(bian)於(yu)安(an)裝，工具上近程(cheng)或遠(yuan)程(cheng)可(ke)以(yi)改(gai)進(jin)工具吞吐(tu)量。

可(ke)用(yong)的(de)快(kuai)的(de)負載(zai)鎖定泵(beng)全(quan)程壹致(zhi)的(de)泵(beng)送(song)性(xing)能，在(zai) 50 和(he) 60 Hz 下(xia)抽(chou)速(su)相(xiang)同，降低(di)了(le)環境(jing)噪(zao)音(yin)僅(jin) 55 dB(A)。