說了這(zhe)麽(me)多(duo)，可是(shi)妳有(you)真(zhen)的(de)了(le)解(jie)萊(lai)寶真(zhen)空(kong)泵(beng)嗎(ma)？

　　萊(lai)寶真(zhen)空(kong)泵(beng)真(zhen)空(kong)設備(bei)在所有(you)半導(dao)體(ti)生產(chan)過(guo)程(cheng)中(zhong)發(fa)揮(hui)著(zhe)極為(wei)重要(yao)的(de)作(zuo)用(yong)，針(zhen)對特(te)殊(shu)的生(sheng)產要(yao)求必須(xu)選擇(ze)適(shi)合的真(zhen)空(kong)設備(bei)。過去的(de)幾(ji)年裏(li)，為(wei)*半導(dao)體(ti)行(xing)業(ye)需(xu)求，我們(men)縮(suo)短產(chan)品(pin)開(kai)發(fa)周(zhou)期(qi)，更(geng)加迅速(su)的(de)推出新的(de)產品(pin)，大大提高(gao)了我(wo)們(men)的服(fu)務(wu)質量。萊(lai)寶真(zhen)空(kong)泵(beng)需(xu)在真(zhen)空(kong)條(tiao)件(jian)下(xia)操作(zuo)的(de)分(fen)析儀器(qi)行(xing)業(ye)是(shi)真(zhen)空(kong)設備(bei)醉(zui)大和(he)醉(zui)復(fu)雜的市(shi)場(chang)之壹。這(zhe)壹市(shi)場(chang)包(bao)括平(ping)面(mian)分(fen)析儀器(qi)家(jia)族，質譜(pu)分(fen)光(guang)光(guang)度(du)計(ji)，設計(ji)各異(yi)的(de)電(dian)子顯(xian)微(wei)鏡(jing)和(he)氦檢(jian)漏儀。我們(men)的產(chan)品(pin)類(lei)型(xing)眾多(duo)，可適(shi)用(yong)於(yu)實(shi)驗(yan)室研(yan)發(fa)及(ji)*簡(jian)單的桌(zhuo)面(mian)操作(zuo)。壹些關鍵(jian)的性(xing)能參數(shu)顯(xian)示(shi)出萊(lai)寶真(zhen)空(kong)泵(beng)、測(ce)量裝(zhuang)置及(ji)部(bu)件(jian)的工作(zuo)能力，緊湊的結構(gou)設計(ji)，高超的技(ji)術(shu)水平(ping)和(he)良(liang)好(hao)的穩(wen)定(ding)性(xing)能。

　　萊(lai)寶真(zhen)空(kong)泵(beng)結構(gou)以(yi)及(ji)工作(zuo)原(yuan)理(li)：

　　萊(lai)寶真(zhen)空(kong)泵(beng)是(shi)單極油(you)封式旋(xuan)片(pian)泵。泵本(ben)身(shen)帶有(you)防(fang)返油(you)閥、氣鎮(zhen)閥（選配(pei)）、出口(kou)過(guo)濾(lv)器(qi)、回(hui)油(you)線(xian)路和(he)和(he)油(you)冷卻(que)回(hui)路。泵由直(zhi)聯(lian)法(fa)蘭電(dian)機(ji)驅(qu)動。

　　安裝在萊(lai)寶真(zhen)空(kong)泵(beng)體(ti)中的偏心轉子）有(you)三(san)塊葉片，它們(men)把(ba)泵分(fen)成三(san)個隔(ge)室，每(mei)個隔(ge)室的(de)容(rong)積隨(sui)轉子的(de)旋(xuan)轉周(zhou)期(qi)性(xing)的變化(hua)。

　　當(dang)轉子旋(xuan)轉時，抽(chou)空(kong)腔(qiang)的(de)進氣部(bu)分(fen)容(rong)積擴(kuo)大，將氣體(ti)從進(jin)氣口(kou)吸入(ru)，氣體(ti)經過空(kong)氣濾(lv)芯，打(da)開(kai)的(de)防(fang)返油(you)閥進(jin)入(ru)腔(qiang)泵。當(dang)轉子進(jin)壹步(bu)旋(xuan)轉，葉片從(cong)吸入(ru)口(kou)將(jiang)泵(beng)腔(qiang)部(bu)分(fen)分開(kai)。這(zhe)部(bu)分(fen)泵腔容(rong)積減(jian)少(shao)，氣體(ti)被壓(ya)縮(suo)。氣體(ti)在略高於(yu)大氣壓(ya)時經過排(pai)氣閥(fa)從泵(beng)腔排(pai)出。

　　油(you)在註(zhu)入(ru)泵(beng)腔起密(mi)封、潤滑和(he)泵(beng)冷(leng)卻(que)的(de)作(zuo)用(yong)。壓(ya)縮(suo)氣體(ti)夾帶的(de)油(you)在油(you)箱內由於折(zhe)轉而被初(chu)步(bu)捕(bu)集(ji)。而(er)後(hou)在出口(kou)油(you)霧分(fen)離器(qi)中被*過(guo)濾(lv)。於是(shi)，排氣中(zhong)油(you)含(han)量下(xia)降(jiang)至(zhi)低(di)於可見(jian)程度(du)。