安(an)捷倫(lun)分子(zi)泵(beng)是(shi)壹種高速(su)旋轉的(de)機械泵(beng),因(yin)此(ci)對(dui)平衡(heng)的(de)要求(qiu)很高(gao),對(dui)固體(ti)異物(wu)非常(chang)脆(cui)弱,通常(chang)要在分(fen)子(zi)泵(beng)的(de)入(ru)口處(chu)安(an)裝金(jin)屬(shu)過(guo)濾(lv)網。分(fen)子(zi)泵(beng)是(shi)利用(yong)高速(su)旋轉的(de)轉子(zi)把動(dong)量(liang)傳輸(shu)給氣(qi)體(ti)分(fen)子(zi),使之獲得定向(xiang)速(su)度(du),從而(er)被壓縮(suo)、被(bei)驅向(xiang)排氣(qi)口(kou)後(hou)為前級抽(chou)走(zou)的(de)壹種(zhong)真(zhen)空泵(beng)。常(chang)規(gui)的(de)分子(zi)泵(beng)使用(yong)軸(zhou)承(cheng)來確保葉(ye)片的(de)高速(su)旋轉。新型(xing)的(de)分子(zi)泵(beng)采(cai)用(yong)磁(ci)懸(xuan)浮(fu)構(gou)造(zao),使得葉片轉(zhuan)速(su)不(bu)斷提(ti)高(gao)的(de)同時(shi),更(geng)使分(fen)子(zi)泵(beng)適合超高(gao)真(zhen)空系(xi)統,也(ye)延長(chang)了分子(zi)泵(beng)的(de)使用(yong)壽(shou)命。
安(an)捷倫(lun)分子(zi)泵(beng)的(de)操作需嚴格(ge)遵(zun)循規(gui)範(fan),以確保其性能(neng)、延長(chang)使用(yong)壽(shou)命並避(bi)免設(she)備(bei)損壞(huai)。以(yi)下是分(fen)子(zi)泵(beng)操作的(de)關鍵(jian)註(zhu)意事(shi)項(xiang):
壹、啟動(dong)前(qian)的(de)準備(bei)
檢(jian)查電(dian)源(yuan)與(yu)控制系(xi)統
確保分(fen)子(zi)泵(beng)的(de)電(dian)源(yuan)電(dian)壓、頻率與(yu)設(she)備(bei)要(yao)求匹(pi)配(pei),接(jie)線牢固可靠(kao)。
檢(jian)查控制系(xi)統(如變(bian)頻器(qi)、溫(wen)控器(qi))是(shi)否正(zheng)常(chang)運行,參數(shu)設(she)置(zhi)是(shi)否(fou)正(zheng)確。
確認(ren)真(zhen)空環(huan)境(jing)
分子(zi)泵(beng)必(bi)須(xu)在高(gao)真(zhen)空環(huan)境(jing)下啟動(dong),禁(jin)止在大(da)氣(qi)或低(di)真(zhen)空狀(zhuang)態下直接(jie)啟(qi)動(dong),否(fou)則(ze)會(hui)導致(zhi)葉片過(guo)熱(re)損壞(huai)。
使用(yong)前級泵(如機械泵(beng))將系(xi)統抽(chou)至(zhi)較低(di)壓力(通常(chang)低(di)於(yu)10 Pa),再(zai)啟(qi)動(dong)分(fen)子(zi)泵(beng)。
檢(jian)查冷(leng)卻系(xi)統
分(fen)子(zi)泵(beng)運行時會產生(sheng)熱(re)量(liang),需確保冷(leng)卻水(或風冷(leng)系(xi)統)正(zheng)常(chang)循環(huan),避免過(guo)熱(re)。
檢(jian)查冷(leng)卻水管(guan)路是(shi)否(fou)暢通,水(shui)流(liu)開(kai)關是(shi)否正(zheng)常(chang),水溫(wen)是否在允(yun)許範(fan)圍內(nei)(通常(chang)≤30℃)。
檢(jian)查振動(dong)與(yu)噪音
手(shou)動(dong)旋轉分(fen)子(zi)泵(beng)轉(zhuan)子(zi),確保無卡(ka)頓或異常(chang)摩擦聲,避(bi)免(mian)異物(wu)進入(ru)泵內。
二(er)、啟(qi)動(dong)步驟(zhou)
開(kai)啟前(qian)級泵
先啟(qi)動(dong)前(qian)級泵(如機械泵(beng)),將系(xi)統壓力抽(chou)至(zhi)分(fen)子(zi)泵(beng)允(yun)許的(de)啟動(dong)壓力以(yi)下(通常(chang)<10 Pa)。
啟動(dong)分(fen)子(zi)泵(beng)
緩慢增加(jia)分子(zi)泵(beng)的(de)電(dian)機轉速(su)(通過(guo)變頻器(qi)控制),避免瞬間(jian)高(gao)速(su)啟動(dong)導致(zhi)電(dian)機過(guo)載(zai)或葉片損傷(shang)。
觀察(cha)分子(zi)泵(beng)的(de)運行電(dian)流(liu)和振動(dong)情(qing)況(kuang),確保平(ping)穩(wen)加速(su)至額定轉速(su)。
監控真(zhen)空度(du)
啟動(dong)後(hou),密切關註(zhu)系(xi)統真(zhen)空度(du)的(de)上(shang)升情況,確認(ren)分(fen)子(zi)泵(beng)抽(chou)氣(qi)效果(guo)正(zheng)常(chang)。
三、運行中的(de)維(wei)護(hu)
保持冷(leng)卻系(xi)統穩(wen)定
持續監測(ce)冷(leng)卻水溫(wen)度(du)、流(liu)量(liang)和壓力,確保散(san)熱(re)效果(guo)良(liang)好。
定期清(qing)洗(xi)冷(leng)卻水過(guo)濾(lv)器(qi),防(fang)止堵(du)塞(sai)。
註(zhu)意異常(chang)聲音(yin)和振動(dong)
分(fen)子(zi)泵(beng)運行時應(ying)平穩(wen)無異常(chang)噪音,若出(chu)現異響或振動(dong)過(guo)大(da),需立(li)即(ji)停機檢(jian)查,可(ke)能(neng)是軸(zhou)承(cheng)磨損或葉片失(shi)衡(heng)。
避(bi)免(mian)返(fan)流(liu)汙染(ran)
在高(gao)真(zhen)空系(xi)統中(zhong),避(bi)免突(tu)然切(qie)斷分子(zi)泵(beng)電(dian)源(yuan)或關閉(bi)閥門,防(fang)止空(kong)氣(qi)倒灌(guan)導致(zhi)葉片汙(wu)染或氧化(hua)。
定期檢(jian)查油潤(run)滑分子(zi)泵(beng)
對(dui)於(yu)需要(yao)潤(run)滑油的(de)分子(zi)泵(beng),定期檢(jian)查油位(wei)和油質(zhi),及時更(geng)換老化(hua)或汙染的(de)潤(run)滑油。
四、停機操作
逐步降速(su)停止
關閉(bi)分子(zi)泵(beng)電(dian)源(yuan)前(qian),先通過(guo)變頻器(qi)降低(di)轉(zhuan)速(su)至低(di)值,再(zai)完(wan)q斷電(dian),避(bi)免(mian)瞬(shun)間(jian)停機造(zao)成沖擊(ji)。
關閉(bi)前級泵
分(fen)子(zi)泵(beng)完(wan)q停止後(hou),再(zai)關閉(bi)前級泵,防(fang)止系(xi)統壓力驟(zhou)升對(dui)分子(zi)泵(beng)造(zao)成損害(hai)。
隔絕(jue)大(da)氣(qi)
停機後(hou),立(li)即關閉(bi)真(zhen)空系(xi)統的(de)閥門,防(fang)止空(kong)氣(qi)進入(ru)泵內導致(zhi)汙染(ran)或氧化(hua)。