安捷倫(lun)分子泵是(shi)壹(yi)種(zhong)高速旋(xuan)轉(zhuan)的(de)機(ji)械泵,因(yin)此對平衡的(de)要(yao)求(qiu)很(hen)高,對固體(ti)異(yi)物(wu)非(fei)常(chang)脆弱,通(tong)常(chang)要在分子泵的(de)入(ru)口處安裝金(jin)屬(shu)過濾網。分子泵是(shi)利(li)用高速旋(xuan)轉(zhuan)的(de)轉(zhuan)子(zi)把(ba)動量(liang)傳輸(shu)給氣體(ti)分子,使(shi)之獲得定向(xiang)速度(du),從(cong)而(er)被(bei)壓縮(suo)、被(bei)驅(qu)向(xiang)排(pai)氣口後為(wei)前(qian)級抽(chou)走(zou)的(de)壹(yi)種(zhong)真空泵。常(chang)規的(de)分子泵使(shi)用軸(zhou)承來確(que)保葉(ye)片的(de)高速旋(xuan)轉(zhuan)。新(xin)型的(de)分子泵采(cai)用磁(ci)懸(xuan)浮構(gou)造(zao),使(shi)得葉片轉速不(bu)斷(duan)提高的(de)同(tong)時(shi),更使(shi)分子泵適(shi)合(he)超高真空系統,也延(yan)長(chang)了(le)分子泵的(de)使(shi)用壽命(ming)。
1、半(ban)導體制(zhi)造(zao)
光(guang)刻(ke)工(gong)藝(yi):用於創造(zao)和(he)維(wei)護(hu)高真空環(huan)境(jing),確(que)保光(guang)刻(ke)機(ji)的(de)精確(que)對準和(he)曝光(guang)過程。
薄膜沈積(PVD/CVD):在物(wu)理(li)氣相(xiang)沈積和化學(xue)氣相(xiang)沈積過程中,提(ti)供高真空環(huan)境(jing),防止雜(za)質汙染(ran)。
刻(ke)蝕(shi)工(gong)藝(yi):在幹(gan)法或(huo)濕法刻(ke)蝕(shi)中,用於抽(chou)取(qu)反應(ying)氣體(ti)和(he)揮發性副(fu)產(chan)物(wu)。
離(li)子(zi)註入(ru):提(ti)供(gong)高真空環(huan)境(jing),確(que)保離(li)子束的(de)準(zhun)確(que)性和(he)穩定(ding)性。
2、科學(xue)研究(jiu)
表(biao)面(mian)科(ke)學(xue):用於掃描(miao)隧道顯(xian)微(wei)鏡(STM)、原(yuan)子(zi)力(li)顯(xian)微鏡(AFM)等表(biao)面分析設備的(de)真空系統。
材(cai)料科(ke)學(xue):在材(cai)料生長(chang)(如(ru)MBE分子束外延(yan))和材(cai)料性(xing)能(neng)測試(shi)中,提(ti)供超高真空環(huan)境(jing)。
粒子物(wu)理(li)與(yu)核物(wu)理(li):用於粒(li)子(zi)加速器(qi)、同(tong)步輻(fu)射裝(zhuang)置(zhi)等(deng)大(da)型科(ke)學(xue)設備的(de)真空系統。
空間(jian)模(mo)擬(ni):在航(hang)天(tian)器(qi)環(huan)境(jing)模(mo)擬(ni)試(shi)驗(yan)中,創造(zao)高真空環(huan)境(jing)以(yi)模(mo)擬(ni)太(tai)空(kong)條件。
3、光(guang)學(xue)與光(guang)電子(zi)領域(yu)
激(ji)光技(ji)術(shu):用於激(ji)光(guang)器的(de)制(zhi)造(zao)和(he)測(ce)試(shi),提(ti)供(gong)無油(you)汙染(ran)的(de)高真空環(huan)境(jing)。
光電器(qi)件(jian)制(zhi)造(zao):在(zai)LED、OLED等(deng)發光器(qi)件(jian)的(de)封裝(zhuang)過(guo)程中,確(que)保真空環(huan)境(jing)以(yi)避免氧(yang)化和汙染(ran)。
電子(zi)顯(xian)微(wei)鏡:為透(tou)射電子(zi)顯(xian)微(wei)鏡(TEM)和掃描(miao)電子(zi)顯(xian)微(wei)鏡(SEM)提供(gong)高真空環(huan)境(jing)。
4、化工(gong)與制(zhi)藥(yao)
高純(chun)度(du)材(cai)料生產(chan):在(zai)半導體級矽材(cai)料、高純(chun)化學(xue)品等(deng)生產(chan)過(guo)程中,用於去(qu)除(chu)揮發性雜(za)質。
冷(leng)凍幹燥:在制(zhi)藥(yao)和(he)食(shi)品(pin)工(gong)業(ye)中,用於低(di)溫真空幹(gan)燥過程,保留物(wu)質活(huo)性(xing)。
析出(chu)與(yu)結晶(jing):在高真空條件下(xia)進行(xing)材(cai)料的(de)析出(chu)和(he)結晶(jing),提高純(chun)度(du)和(he)質量(liang)。
5、醫療(liao)與生物(wu)技(ji)術(shu)
質譜分析:在醫用質譜儀(yi)中,用於提(ti)供(gong)高真空環(huan)境(jing),確(que)保分析精度(du)。
冷凍電鏡(Cryo-EM):用於生物(wu)大(da)分子結構(gou)的(de)高分辨率成像,需(xu)要(yao)極(ji)低(di)的(de)真空環(huan)境(jing)。
醫療(liao)器械制(zhi)造(zao):在(zai)無菌包裝(zhuang)和精密(mi)零(ling)部件(jian)加(jia)工(gong)中,提(ti)供清潔(jie)的(de)真空環(huan)境(jing)。
6、航空航(hang)天(tian)
航(hang)天(tian)器(qi)推進系統測試(shi):用於模(mo)擬(ni)太(tai)空(kong)環(huan)境,測(ce)試(shi)離(li)子(zi)推進器(qi)、霍(huo)爾推進器(qi)等(deng)真空部件(jian)。
航(hang)空(kong)材(cai)料研(yan)發:在高溫(wen)合(he)金(jin)、復合(he)材(cai)料等(deng)航(hang)空材(cai)料的(de)制(zhi)備(bei)和(he)測試(shi)中,提(ti)供高真空環(huan)境(jing)。
衛星熱真空試(shi)驗(yan):模(mo)擬(ni)太(tai)空(kong)熱循環條件,檢驗(yan)衛(wei)星設備的(de)可靠性(xing)。
7、能源(yuan)與環(huan)保
核聚變(bian)研究(jiu):在(zai)托卡(ka)馬(ma)克(ke)裝置(zhi)等核聚變(bian)實驗中,提(ti)供高真空環(huan)境(jing)以(yi)維(wei)持反應(ying)穩(wen)定(ding)性(xing)。
太(tai)陽(yang)能(neng)電池(chi)制(zhi)造(zao):用於光(guang)伏材(cai)料的(de)沈積和封裝(zhuang)過(guo)程,提(ti)高電池(chi)效(xiao)率和壽(shou)命。
環(huan)境監(jian)測(ce):在(zai)大(da)氣采(cai)樣(yang)和痕(hen)量(liang)氣體(ti)分析中,提(ti)供高真空條件以(yi)提高檢測(ce)靈(ling)敏度(du)。
8、其他(ta)高d制(zhi)造(zao)
精密(mi)儀(yi)器制(zhi)造(zao):在(zai)高精度(du)光學(xue)器件(jian)、鐘表(biao)零(ling)件(jian)等(deng)制(zhi)造(zao)過(guo)程(cheng)中,提(ti)供無油(you)汙染(ran)的(de)真空環(huan)境(jing)。
電子(zi)束焊(han)接(jie)與熔煉:用於高純(chun)度(du)金(jin)屬(shu)的(de)焊(han)接(jie)和熔煉,避免氧(yang)化和雜(za)質汙染(ran)。
納米技術(shu):在(zai)納米材(cai)料的(de)制(zhi)備(bei)和(he)表征中,提(ti)供超高真空環(huan)境(jing)。