氦檢漏儀(yi)是(shi)壹(yi)種(zhong)以(yi)氦氣(qi)作(zuo)為(wei)示蹤(zong)氣(qi)體(ti),專門(men)用(yong)於檢測有(you)氣(qi)密(mi)性(xing)要求的產品密(mi)封性(xing)的質(zhi)譜分(fen)析儀器。主要(yao)是(shi)基(ji)於質(zhi)譜分(fen)析技術。它(ta)采集(ji)被(bei)檢件中(zhong)的氣(qi)體(ti)並(bing)將其(qi)電(dian)離,利(li)用不同(tong)種(zhong)類(lei)氣(qi)體(ti)離子質(zhi)荷(he)比(bi)不同(tong)的特點,通過磁偏(pian)轉分離原理(li)檢出氦離子。通過測量(liang)氦離子流來(lai)確(que)定(ding)漏(lou)孔(kong)的大小及(ji)位(wei)置(zhi)。
1、高(gao)靈敏(min)度(du):能(neng)夠檢測到(dao)極小的泄漏(lou)率,例如可(ke)達(da)到(dao)10^-12 mbar·L/s的水平,這對(dui)於確保(bao)高(gao)標(biao)準(zhun)的密(mi)封性(xing)能(neng)至關(guan)重要(yao)。
2、專用性(xing)強:氦氣(qi)由(you)於其(qi)原子(zi)尺(chi)寸(cun)小、化(hua)學(xue)性(xing)質(zhi)不活潑(po)以(yi)及在大氣(qi)中(zhong)含量(liang)極低的特性(xing),成(cheng)為(wei)理(li)想的檢漏氣(qi)體(ti)。
3、快速響應:能(neng)快速響應泄漏(lou)變(bian)化(hua),使得(de)檢測過程效(xiao)率高(gao),節(jie)省(sheng)時(shi)間(jian)。
4、多(duo)種(zhong)檢測模(mo)式(shi):根(gen)據(ju)不同(tong)的檢測需(xu)求,氦檢漏儀(yi)可(ke)能(neng)支(zhi)持吸(xi)槍(qiang)模(mo)式(shi)(用吸(xi)槍(qiang)在疑似(si)泄漏(lou)處(chu)吸(xi)入氣(qi)體(ti)進行(xing)檢測)和累(lei)積(ji)模(mo)式(在密(mi)閉空間(jian)內(nei)積(ji)累(lei)氦氣(qi)後檢測)。
5、易(yi)於操作(zuo):通常(chang)設計(ji)有用戶(hu)友(you)好的界面,便(bian)於操作(zuo)者(zhe)設定(ding)參數、啟動(dong)檢測程(cheng)序(xu)及解讀結果。
6、自動(dong)化(hua)程度高(gao):可以(yi)編程控制(zhi)檢測過程,實(shi)現(xian)自動(dong)化(hua)檢測,減(jian)少(shao)人為(wei)操作(zuo)誤(wu)差。
7、寬泛的應用領(ling)域:廣(guang)泛應(ying)用(yong)於半(ban)導(dao)體(ti)制(zhi)造、汽(qi)車制(zhi)造、航(hang)空航天、化(hua)工(gong)管(guan)道及(ji)空調制冷(leng)等(deng)多(duo)個領(ling)域。
8、環(huan)境因(yin)素(su)考慮(lv):雖(sui)然(ran)使用(yong)氦氣(qi)作(zuo)為(wei)檢漏介(jie)質(zhi),但氦檢漏儀(yi)的設計(ji)也會考慮(lv)到(dao)環(huan)境保(bao)護(hu)和經濟(ji)成(cheng)本,盡(jin)量(liang)減(jian)少(shao)氦氣(qi)的使用量。
9、多(duo)功(gong)能(neng)集成(cheng):可(ke)能(neng)與其(qi)他(ta)檢測功(gong)能(neng)集成(cheng),如壓(ya)力衰(shuai)減(jian)檢測等(deng),提(ti)供壹(yi)體(ti)化(hua)解決(jue)方案(an)。
10、數據(ju)記錄與輸(shu)出:具備數據(ju)記錄功(gong)能(neng),可將檢測結果保(bao)存(cun)和輸(shu)出,便(bian)於跟蹤(zong)記錄和質(zhi)量(liang)控制(zhi)。