安捷(jie)倫分(fen)子(zi)泵是壹種(zhong)高(gao)速旋(xuan)轉(zhuan)的(de)機械泵(beng),因(yin)此對平(ping)衡(heng)的(de)要求很高(gao),對固體(ti)異物(wu)非(fei)常(chang)脆(cui)弱,通(tong)常(chang)要在(zai)分(fen)子(zi)泵的(de)入(ru)口(kou)處(chu)安(an)裝(zhuang)金(jin)屬過濾(lv)網。分(fen)子(zi)泵是利(li)用高(gao)速旋(xuan)轉(zhuan)的(de)轉(zhuan)子(zi)把動量傳(chuan)輸給(gei)氣體(ti)分(fen)子(zi),使之(zhi)獲(huo)得定向(xiang)速(su)度,從(cong)而(er)被(bei)壓(ya)縮(suo)、被驅(qu)向(xiang)排(pai)氣口(kou)後為前級抽走的(de)壹種(zhong)真(zhen)空(kong)泵(beng)。常(chang)規(gui)的(de)分(fen)子(zi)泵使用軸承(cheng)來確(que)保(bao)葉片的(de)高(gao)速旋(xuan)轉(zhuan)。新(xin)型的(de)分(fen)子(zi)泵采(cai)用磁(ci)懸浮構造(zao),使得(de)葉片轉(zhuan)速(su)不斷(duan)提(ti)高(gao)的(de)同(tong)時(shi),更使(shi)分(fen)子(zi)泵適合超(chao)高(gao)真空(kong)系統,也(ye)延(yan)長了(le)分(fen)子(zi)泵的(de)使用壽命。
1、清(qing)潔(jie)無油(you)蒸(zheng)汽返流(liu)
幹(gan)式(shi)操作:分(fen)子(zi)泵可以在(zai)無(wu)任(ren)何潤(run)滑油(you)的(de)情(qing)況下運行,從(cong)而(er)為被抽容器(qi)提供(gong)壹個(ge)極為清(qing)潔(jie)的(de)真空(kong)環(huan)境。
消除(chu)碳氫(qing)化合(he)物(wu):現代(dai)渦(wo)輪(lun)分(fen)子(zi)泵通(tong)過采(cai)用空(kong)氣軸承(cheng)或(huo)磁(ci)懸浮軸承(cheng)技術(shu),完q杜(du)絕(jue)了(le)油(you)蒸(zheng)汽返流(liu)的(de)問題(ti),確(que)保(bao)了(le)工(gong)作環(huan)境中不含(han)有(you)任何碳(tan)氫(qing)化(hua)合(he)物(wu)。
2、使(shi)用方(fang)便
簡單啟(qi)動:渦(wo)輪(lun)分(fen)子(zi)泵只需(xu)按(an)電鈕即(ji)可開(kai)始(shi)工(gong)作,無(wu)需(xu)高(gao)真空(kong)或(huo)粗(cu)真空(kong)閥(fa),可以從(cong)大氣壓(ya)力降z極限(xian)壓力。
靈(ling)活(huo)安裝:渦(wo)輪(lun)分(fen)子(zi)泵的(de)安裝(zhuang)方向(xiang)不受(shou)限(xian)制,可在(zai)任(ren)意方向(xiang)安(an)裝,占(zhan)用空(kong)間(jian)小,適用於(yu)安(an)裝位置受(shou)限(xian)的(de)地(di)方。
3、氣體(ti)輸送(song)能力強(qiang)
輕(qing)氣體(ti)輸送(song):大多(duo)數渦(wo)輪(lun)分(fen)子(zi)泵對輕(qing)氣體(ti)(如氫(qing)、氦(hai))的(de)輸送(song)能力很強,特(te)別適(shi)用於(yu)超(chao)高(gao)真空(kong)下的(de)工(gong)藝操(cao)作。
耐(nai)腐(fu)蝕(shi)設(she)計:有專門設(she)計的(de)渦(wo)輪(lun)分(fen)子(zi)泵用於(yu)抽(chou)除腐(fu)蝕(shi)性氣體(ti),適用於(yu)刻(ke)蝕、反(fan)應(ying)離子(zi)刻(ke)蝕等(deng)工(gong)藝操(cao)作。
4、超(chao)高(gao)真空(kong)應(ying)用的(de)適用性(xing)
高(gao)極限(xian)真空(kong):壹臺密(mi)封(feng)良(liang)好(hao)的(de)渦(wo)輪(lun)分(fen)子(zi)泵,配(pei)以性(xing)能良(liang)好(hao)的(de)前級泵,其(qi)極限真空(kong)可達到(dao)10^-10 Torr(即(ji)13.33 nPa)之(zhi)間(jian)。
滿(man)抽速運轉(zhuan):與(yu)低溫泵或(huo)離子(zi)泵(beng)不同(tong),渦(wo)輪(lun)分(fen)子(zi)泵在(zai)超(chao)高(gao)真空(kong)條(tiao)件(jian)下仍能滿(man)抽速運轉(zhuan),這(zhe)使它(ta)在(zai)高(gao)分(fen)辨(bian)率質(zhi)譜儀等(deng)設(she)備上(shang)得到(dao)廣泛(fan)應(ying)用。
5、高(gao)壓力下性能良(liang)好(hao)
穩定性強(qiang):某些渦(wo)輪(lun)分(fen)子(zi)泵的(de)入(ru)口(kou)壓(ya)力可在(zai)10^-3^至10^-10^Torr(即13.33 Pa至13.33μPa)之(zhi)間(jian)運行,在(zai)這(zhe)個(ge)壓力範(fan)圍(wei)內,其(qi)他(ta)類(lei)型(xing)的(de)泵會(hui)變(bian)得不穩(wen)定。
6、循環時(shi)間短
快(kuai)速啟(qi)動停止(zhi):多(duo)數渦(wo)輪(lun)分(fen)子(zi)泵在(zai)較短時(shi)間內(大約3分(fen)鐘(zhong))即可達到(dao)正常(chang)運行速度,並(bing)且(qie)能立即(ji)關閉(bi)並暴(bao)露於(yu)大氣壓(ya),這(zhe)種快(kuai)速循環特(te)性在(zai)樣(yang)品(pin)輸入(ru)系統中(zhong)非常(chang)有(you)用。
7、使(shi)用壽命長
抗(kang)重氣體(ti)負荷(he)和閥門漏氣:在(zai)重氣體(ti)負荷(he)和閥門漏氣的(de)情(qing)況下,渦(wo)輪(lun)分(fen)子(zi)泵的(de)使用時(shi)間要比其(qi)它(ta)泵更長,且不會(hui)因(yin)泵油(you)汙染(ran)真空(kong)室。