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還(hai)不清楚(chu)分(fen)子泵(beng)的不妨(fang)進(jin)來瞧(qiao)瞧!
更新更新時間:2020-06-11 瀏覽(lan)次數:2157
分(fen)子泵(beng)是壹(yi)種(zhong)獲得(de)高真(zhen)空(kong)和超高真(zhen)空(kong)機(ji)械(xie)式真(zhen)空(kong)泵(beng),其(qi)分(fen)為(wei)渦(wo)輪分(fen)子泵(beng)、牽引分子泵(beng)和復(fu)合分(fen)子泵(beng)三大(da)類。分子泵(beng)主要(yao)用(yong)於為(wei)制造太陽能電(dian)池和半(ban)導(dao)體(ti)提(ti)供(gong)*的(de)真(zhen)空(kong)環境。分(fen)子泵(beng)有著(zhe)世(shi)界醉(zui)高水(shui)準的排(pai)氣(qi)能力(li),並且有壹(yi)系(xi)列的(de)產品(pin)可(ke)以(yi)滿足不同(tong)的(de)太陽能電(dian)池模(mo)組(zu)和矽(gui)晶(jing)片的工(gong)藝需求,隨著(zhe)市(shi)場(chang)的擴大(da),我(wo)們開(kai)發(fa)的(de)腳(jiao)步也從(cong)未(wei)停(ting)止。 分(fen)子泵(beng)的抽氣機(ji)理與機(ji)械(xie)泵(beng)靠泵(beng)腔(qiang)容(rong)積(ji)變化(hua)進(jin)行(xing)抽氣的機(ji)理不同(tong),利用(yong)了(le)動(dong)量(liang)傳遞(di)原(yuan)理,使分(fen)子定(ding)向(xiang)流動(dong)而(er)被(bei)排(pai)出(chu)泵(beng)外,從而(er)達到(dao)抽氣的目(mu)的(de)。
分(fen)子泵(beng)在電(dian)機(ji)的(de)帶動(dong)下(xia)高速旋轉,采(cai)用(yong)變(bian)頻(pin)電源(yuan)驅(qu)動(dong)電(dian)機(ji),目(mu)的(de)是得(de)到(dao)較高的轉速。在分子流區域內,氣(qi)體(ti)分(fen)子與高(gao)速轉到的(de)葉片表面碰撞(zhuang),動(dong)量(liang)傳遞(di)給(gei)氣(qi)體(ti)分(fen)子,使部(bu)分氣(qi)體(ti)分(fen)子在剛(gang)體(ti)表面的運(yun)動(dong)方(fang)向(xiang)上,產(chan)生定(ding)向(xiang)流動(dong)而(er)被(bei)排(pai)出(chu)泵(beng)外,從而(er)達到(dao)抽氣的目(mu)的(de)。通(tong)常(chang)把(ba)用(yong)高(gao)速運動(dong)的(de)剛體(ti)表面攜(xie)帶氣(qi)體(ti)分(fen)子,並使(shi)其(qi)按壹(yi)定(ding)方向(xiang)運動(dong)的(de)現象(xiang)稱(cheng)為(wei)分子牽引現象(xiang),利用(yong)這(zhe)壹(yi)現象(xiang)制成的真(zhen)空(kong)泵(beng)稱(cheng)為(wei)牽引分子泵(beng)(蓋德泵(beng))。牽引分子泵(beng)的優(you)點是啟(qi)動(dong)時間短,在分子流態(tai)下(xia)有很(hen)高(gao)的壓(ya)縮比(bi),能抽除各種(zhong)氣(qi)體(ti)和(he)蒸(zheng)氣,特(te)別(bie)適(shi)於抽除較重(zhong)的(de)氣(qi)體(ti)。但(dan)由(you)於牽引分子泵(beng)抽速小,密封間隙太小,工(gong)作可(ke)靠性(xing)較差(cha),易出機(ji)械(xie)故(gu)降(jiang),而(er)且制造困難,實(shi)際(ji)上很(hen)少(shao)應用(yong)。
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