分子(zi)泵的性(xing)能(neng)原(yuan)理及(ji)結構都是(shi)怎(zen)樣(yang)的呢(ne)？

　　常規(gui)的(de)分子(zi)泵使用(yong)軸(zhou)承來(lai)確保葉片(pian)的(de)高速旋(xuan)轉。新型(xing)的(de)分子(zi)泵采(cai)用(yong)磁(ci)懸(xuan)浮(fu)構造，使得葉(ye)片轉速不(bu)斷提高的(de)同時，更(geng)使分子(zi)泵適合(he)超(chao)高真(zhen)空系(xi)統(tong)，也(ye)延(yan)長了分子(zi)泵的使用(yong)壽(shou)命(ming)。

　　分子(zi)泵與油(you)封(feng)式(shi)旋(xuan)片泵和渦輪式幹(gan)泵相比(bi)，工(gong)作(zuo)環(huan)境(jing)更(geng)加(jia)清潔(jie)，而(er)且可(ke)以達到(dao)*的(de)真空度(du)。但是，分子(zi)泵不能(neng)在(zai)大(da)氣壓下(xia)工(gong)作(zuo)，必(bi)須(xu)和其(qi)他(ta)能夠(gou)在(zai)大(da)氣壓下(xia)工(gong)作(zuo)的(de)粗抽真空泵(油(you)封(feng)式(shi)旋(xuan)片泵或渦輪式幹(gan)泵)聯合(he)使用(yong)。分子(zi)泵構造復雜、價(jia)格(ge)昂(ang)貴，高速旋(xuan)轉工(gong)作(zuo)時(shi)會(hui)有振動。

　　分子(zi)泵的抽氣機(ji)理與(yu)機(ji)械泵靠泵腔(qiang)容(rong)積(ji)變化(hua)進行抽氣的(de)機(ji)理不(bu)同，利(li)用(yong)了(le)動量(liang)傳遞原(yuan)理，使分子(zi)定向流動而(er)被(bei)排(pai)出泵外，從(cong)而(er)達(da)到(dao)抽氣的(de)目(mu)的。

　　分子(zi)泵在電(dian)機(ji)的帶動下(xia)高速旋(xuan)轉，采(cai)用(yong)變頻電源(yuan)驅動電(dian)機(ji)，目(mu)的是(shi)得(de)到(dao)較(jiao)高的(de)轉速。在(zai)分子(zi)流區域內，氣(qi)體(ti)分子(zi)與高速轉到(dao)的(de)葉片(pian)表面碰(peng)撞，動量(liang)傳遞給氣(qi)體分子(zi)，使部分氣(qi)體分子(zi)在剛體(ti)表(biao)面的(de)運(yun)動方(fang)向(xiang)上(shang)，產(chan)生(sheng)定向(xiang)流動而(er)被(bei)排(pai)出泵外，從(cong)而(er)達(da)到(dao)抽氣的(de)目(mu)的。通常(chang)把(ba)用(yong)高速運(yun)動的(de)剛(gang)體(ti)表面攜帶氣(qi)體分子(zi)，並使其(qi)按壹定方(fang)向(xiang)運(yun)動的(de)現(xian)象(xiang)稱為分子(zi)牽引現(xian)象(xiang)，利(li)用(yong)這(zhe)壹現象(xiang)制成的真(zhen)空泵稱為牽引分子(zi)泵(蓋(gai)德(de)泵)。牽引(yin)分子(zi)泵的優(you)點是啟動時(shi)間短，在分子(zi)流態下(xia)有(you)很(hen)高的(de)壓縮(suo)比(bi)，能(neng)抽除各種(zhong)氣體(ti)和蒸氣(qi)，特別(bie)適於抽除較(jiao)重的(de)氣(qi)體(ti)。但由於牽(qian)引(yin)分子(zi)泵抽速小(xiao)，密封間隙(xi)太(tai)小(xiao)，工(gong)作(zuo)可(ke)靠(kao)性較(jiao)差(cha)，易(yi)出機(ji)械故(gu)降(jiang)，而(er)且制(zhi)造(zao)困難(nan)，實際上(shang)很(hen)少應用(yong)。