使(shi)用分(fen)子(zi)泵也是(shi)有(you)技(ji)巧(qiao)的!妳知(zhi)道嗎?
更新更新時(shi)間(jian):2021-04-30 瀏覽次數(shu):4881
分(fen)子(zi)泵是壹(yi)種(zhong)獲(huo)得(de)高(gao)真空和超(chao)高(gao)真空機械(xie)式真空泵,其分(fen)為(wei)渦(wo)輪分(fen)子(zi)泵、牽引分(fen)子(zi)泵和復(fu)合(he)分(fen)子(zi)泵三(san)大類(lei)。分(fen)子(zi)泵主要(yao)用(yong)於(yu)為(wei)制(zhi)造太陽(yang)能電池(chi)和半導(dao)體提供*的真(zhen)空環(huan)境(jing)。分(fen)子(zi)泵有(you)著世(shi)界醉(zui)高(gao)水準(zhun)的排氣能力,並(bing)且有(you)壹(yi)系列(lie)的產(chan)品可(ke)以滿(man)足不同的太(tai)陽(yang)能電池(chi)模組和矽(gui)晶片(pian)的工藝(yi)需(xu)求(qiu),隨(sui)著市(shi)場(chang)的擴(kuo)大,我們(men)開(kai)發的腳步(bu)也(ye)從(cong)未停止。 1、分(fen)子(zi)泵的氣(qi)路(lu)接口的快接法(fa)蘭的螺桿(gan)應(ying)朝上,以防(fang)松(song)弛造成漏(lou)氣;
2、不(bu)能在大氣狀(zhuang)態(tai)下開分(fen)子(zi)泵,必須(xu)在達(da)到10Pa時(shi)才(cai)能打開其相應(ying)的高(gao)閥(fa),開啟(qi)分(fen)子(zi)泵;
3、當M2(箱(xiang)體2)或M7的真(zhen)空度(du)始終抽(chou)不(bu)到位時,應(ying)檢查(zha)旋片(pian)泵的電(dian)磁(ci)閥工作是(shi)否正(zheng)常;
4、在開(kai)分(fen)子(zi)泵前(qian)必須(xu)打開冷卻水閥;在分(fen)子(zi)泵的葉輪停止(zhi)運(yun)轉後(hou),必須(xu)關(guan)閉(bi)冷卻水閥;
5、每次停機後(hou),務必清潔各(ge)分(fen)子(zi)泵的進氣口處,使(shi)其保持(chi)幹凈,以(yi)避(bi)免不必要的損(sun)壞(huai);
6、當(dang)出(chu)現(xian)報警信息“EF”時(shi),應(ying)檢查(zha)冷卻水路(lu)是否通暢,可用(yong)器(qi)槍(qiang)檢查(zha)。確(que)保(bao)水(shui)路(lu)順(shun)暢後(hou),方可(ke)再(zai)次(ci)打開分(fen)子(zi)泵。而當(dang)出(chu)現(xian)其他報警信號時,嚴(yan)禁再(zai)次(ci)啟(qi)動(dong)分(fen)子(zi)泵,待(dai)後(hou)處理(li);
7、在分(fen)子(zi)泵出現(xian)問(wen)題而不能使(shi)用時(shi),應(ying)暫停生(sheng)產(chan),手動(dong)充(chong)大氣後(hou),更換備(bei)用(yong)的分(fen)子(zi)泵;
8、當始(shi)終(zhong)達(da)不(bu)到分(fen)子(zi)泵啟(qi)動(dong)條(tiao)件時,應(ying)檢查(zha)前(qian)級泵和電(dian)磁(ci)閥工作是(shi)否正(zheng)常;
9、當分(fen)子(zi)泵出現(xian)故(gu)障(zhang)時(shi),須(xu)根據(ju)故(gu)障(zhang)提示(shi)作相應(ying)處理(li)。