光學(xue)鍍膜機真空(kong)泵(beng)是光學(xue)鍍膜機的核心(xin)組(zu)件之(zhi)壹(yi),負責在(zai)鍍膜過程中創(chuang)建並維持(chi)高度真空(kong)的(de)環(huan)境(jing),以(yi)確保鍍膜質(zhi)量(liang)。其在(zai)光(guang)學(xue)鍍膜過程中,空(kong)氣(qi)分(fen)子(zi)會(hui)對蒸發(fa)的(de)膜(mo)體分(fen)子(zi)產生碰撞,導(dao)致(zhi)結(jie)晶體粗(cu)糙無光。高真空(kong)環(huan)境(jing)可(ke)以(yi)顯(xian)著(zhu)減少(shao)這(zhe)種(zhong)碰(peng)撞,使(shi)結晶體細(xi)密(mi)光(guang)亮,從(cong)而(er)確保鍍膜的均勻性和光學性能。因(yin)此,真空(kong)泵(beng)通(tong)過抽(chou)除(chu)真空(kong)室內的氣體,為(wei)鍍膜過程提(ti)供(gong)必(bi)要的真空(kong)條(tiao)件。
1、高(gao)真空(kong)度(du)保(bao)障(zhang):光(guang)學(xue)鍍膜對真空(kong)環(huan)境(jing)要求(qiu)高(gao),分(fen)子(zi)泵等(deng)高真空(kong)泵(beng)可(ke)將(jiang)真空(kong)度(du)提(ti)升(sheng)至10⁻⁸帕,滿足高(gao)精度(du)光(guang)學元件(如(ru)激光(guang)鏡(jing)、望(wang)遠鏡鏡(jing)片(pian))的(de)鍍膜需(xu)求(qiu)。這(zhe)種(zhong)超(chao)高(gao)真空(kong)環(huan)境(jing)能有(you)效(xiao)減少(shao)氣(qi)體分(fen)子(zi)對鍍膜過程的幹擾,確保膜(mo)層均(jun)勻性和光學性能穩(wen)定性。
2、油(you)汙(wu)染控制(zhi):分(fen)子(zi)泵通(tong)過高速旋(xuan)轉實現(xian)抽(chou)氣(qi),全程(cheng)無(wu)油(you)參(can)與(yu),避免了油(you)蒸氣對(dui)真空(kong)腔體的(de)汙(wu)染。這(zhe)壹(yi)特性(xing)在(zai)鍍制(zhi)對(dui)雜質(zhi)敏(min)感(gan)的光(guang)學(xue)薄膜(如(ru)增透(tou)膜(mo)、高(gao)反(fan)膜)時(shi)尤為(wei)重要,可(ke)顯(xian)著(zhu)提(ti)升(sheng)鍍膜質(zhi)量(liang)和成品率。
3、抽(chou)氣(qi)效(xiao)率優化:渦旋(xuan)真空(kong)泵(beng)采用獨(du)特的動(dong)、靜(jing)渦旋(xuan)盤(pan)設計(ji),形成逐漸縮(suo)小(xiao)的月牙形工作(zuo)腔,實(shi)現(xian)高效(xiao)抽(chou)氣(qi)。其抽(chou)速可(ke)達(da)每分(fen)鐘數十(shi)立方米,能快速將(jiang)鍍膜腔體抽(chou)至所(suo)需(xu)真空(kong)度(du),縮(suo)短(duan)生產周(zhou)期,提(ti)高(gao)設備(bei)利用率。
4、密(mi)封穩(wen)定性強(qiang)化:渦旋(xuan)真空(kong)泵(beng)通(tong)過特殊密(mi)封材(cai)料(liao)和結構確保動(dong)、靜(jing)渦旋(xuan)盤(pan)間(jian)無(wu)氣體泄(xie)漏(lou),同時(shi)泵體與(yu)管(guan)道連接處采用優(you)質(zhi)密(mi)封件,進(jin)壹(yi)步(bu)降(jiang)低泄(xie)漏(lou)率。這種設計(ji)在(zai)制(zhi)藥(yao)凍幹工藝等(deng)對真空(kong)度(du)穩(wen)定性要求(qiu)高(gao)的(de)場(chang)景(jing)中表(biao)現突出(chu),可(ke)長(chang)時(shi)間(jian)維持(chi)真空(kong)環(huan)境(jing)穩(wen)定。
5、低維護需(xu)求(qiu):渦旋(xuan)真空(kong)泵(beng)結(jie)構(gou)簡(jian)單(dan),運動(dong)部(bu)件少(shao),主(zhu)要部件(如(ru)渦旋(xuan)盤(pan))采用耐(nai)磨、耐(nai)腐(fu)蝕(shi)的(de)優(you)質(zhi)合(he)金材(cai)料(liao)制(zhi)造,降(jiang)低了(le)易損(sun)件數量(liang)和維護成本。定期檢查密(mi)封件和潤滑系(xi)統即可(ke)保(bao)持(chi)設備(bei)穩(wen)定運行,減(jian)少(shao)停(ting)機(ji)時(shi)間(jian)。
6、適(shi)應多(duo)樣(yang)化鍍膜工藝:光(guang)學鍍膜機需(xu)支(zhi)持蒸發(fa)鍍、濺射鍍等(deng)多(duo)種工藝,對(dui)真空(kong)泵(beng)的(de)兼(jian)容性(xing)要求(qiu)較(jiao)高。分(fen)子(zi)泵和渦旋(xuan)真空(kong)泵(beng)可(ke)靈活(huo)搭(da)配(pei)前(qian)級泵(如(ru)機械泵(beng)、羅(luo)茨泵),形成復合(he)真空(kong)系(xi)統,滿足不(bu)同(tong)鍍膜工藝對(dui)真空(kong)度(du)、抽(chou)速和清(qing)潔度的需(xu)求(qiu)。例(li)如(ru),在(zai)鍍制(zhi)多(duo)層高反(fan)射膜(mo)時(shi),高真空(kong)泵(beng)可(ke)確保每層膜的精確沈積,而(er)渦旋(xuan)泵則能快速抽(chou)除(chu)鍍膜過程中產生的氣(qi)體,提(ti)升(sheng)整體效(xiao)率。
