雙級旋(xuan)片式真空(kong)泵(beng)是壹(yi)種高效、精(jing)密(mi)的(de)容積式真空(kong)設備(bei),通過(guo)兩(liang)級串聯的旋(xuan)片結構(gou)實現(xian)氣(qi)體(ti)分(fen)級壓(ya)縮(suo)與(yu)抽排(pai),廣(guang)泛應(ying)用(yong)於真空(kong)鍍膜、電(dian)子半導(dao)體、食(shi)品(pin)包(bao)裝、化工制(zhi)藥(yao)等領域(yu)。其(qi)核心優勢在(zai)於通(tong)過(guo)雙級壓(ya)縮(suo)顯(xian)著(zhu)提(ti)升(sheng)極(ji)限(xian)真空(kong)度(可達≤6×10⁻²Pa),同(tong)時降(jiang)低單(dan)級負荷,延(yan)長使(shi)用壽命(ming)。
該泵(beng)由泵(beng)體、轉子、旋(xuan)片、端(duan)蓋(gai)及彈(dan)簧等部件構成。轉子偏心安裝於泵(beng)腔內,其(qi)槽(cao)中嵌(qian)有兩(liang)片可滑(hua)動的(de)旋(xuan)片,彈簧使(shi)旋(xuan)片頂(ding)端(duan)始(shi)終緊貼泵(beng)腔內壁(bi)。運(yun)轉時(shi),轉子旋(xuan)轉(zhuan)帶(dai)動(dong)旋(xuan)片滑動(dong),將泵(beng)腔分(fen)隔(ge)為(wei)高級(高真空(kong)級)和低級(低真空(kong)級)兩(liang)個工作腔。氣體(ti)從進氣口(kou)進入高級腔,經壓(ya)縮(suo)後(hou)部(bu)分(fen)直(zhi)接(jie)排(pai)出,部分(fen)通(tong)過(guo)級間通道(dao)進入低級腔二(er)次(ci)壓(ya)縮(suo),最(zui)終(zhong)從(cong)低級排(pai)氣閥排(pai)出。這種分(fen)級壓(ya)縮(suo)設計(ji)使(shi)雙級泵(beng)的壓(ya)縮(suo)比(bi)遠(yuan)高(gao)於單(dan)級泵(beng),從而獲(huo)得更(geng)深的(de)真空(kong)。
1、泵(beng)體
作用:作為整(zheng)個裝置的外殼和主(zhu)體(ti)框(kuang)架,容納(na)其(qi)他內部(bu)組(zu)件並形成密(mi)閉(bi)的(de)工(gong)作腔室(shi)。
特(te)點:通(tong)常(chang)采(cai)用黑(hei)色(se)金(jin)屬(shu)制(zhi)造,具(ju)有較(jiao)高的(de)精密(mi)度和耐(nai)腐蝕性。
2、轉子
安裝方式:偏心地安裝在泵(beng)腔內,其(qi)外圓與(yu)泵(beng)體內壁(bi)保持微小(xiao)間隙(xi)。
功(gong)能:通過(guo)旋(xuan)轉(zhuan)帶(dai)動(dong)旋(xuan)片運動(dong),實現(xian)氣(qi)體(ti)的(de)吸(xi)入(ru)、壓(ya)縮(suo)和(he)排(pai)出循(xun)環。
3、旋(xuan)片
數量(liang)與(yu)結(jie)構(gou):壹(yi)般(ban)為(wei)兩(liang)塊(kuai),嵌於轉(zhuan)子槽中(zhong),依靠彈簧張力和離心力緊貼泵(beng)腔內壁(bi)。
工(gong)作原理:將定(ding)子分(fen)隔(ge)為(wei)高、低兩(liang)個工作腔(即高(gao)級腔和低級腔),通過(guo)容積變化(hua)完成抽氣過(guo)程。當轉子轉動(dong)時,旋(xuan)片隨(sui)動(dong)滑動,使(shi)壹側容積擴大(da)吸(xi)氣(qi),另(ling)壹(yi)側縮小排(pai)氣。
4、端(duan)蓋(gai)
位(wei)置與(yu)用(yong)途(tu):位(wei)於泵(beng)體的兩(liang)端(duan),用(yong)於封(feng)閉(bi)系(xi)統並支(zhi)撐相(xiang)關(guan)部(bu)件。
密(mi)封(feng)性(xing):確保各(ge)連(lian)接(jie)處(chu)的(de)氣(qi)密(mi)性(xing),防止(zhi)泄(xie)漏(lou)影響真空(kong)效(xiao)果(guo)。
5、彈(dan)簧
作用機制(zhi):置於兩(liang)旋(xuan)片之間(jian),提(ti)供(gong)持續的(de)壓(ya)力(li)以(yi)維持旋(xuan)片與(yu)泵(beng)壁的良(liang)好接(jie)觸。結(jie)合離心力共同(tong)保證運(yun)行穩(wen)定(ding)性(xing)。
6、排(pai)氣閥與(yu)輔助(zhu)裝置
排(pai)氣通道(dao):包括主(zhu)排(pai)氣閥和輔助(zhu)排(pai)氣閥,用於控(kong)制(zhi)不同(tong)壓(ya)力(li)下(xia)的(de)氣體排(pai)放路徑(jing)。例如(ru),在(zai)吸(xi)入(ru)壓(ya)強(qiang)較(jiao)高(gao)時,部分(fen)氣(qi)體直接(jie)從輔助(zhu)閥排(pai)出;低壓(ya)時(shi)則(ze)通過(guo)級間通道(dao)進入低級腔再(zai)壓(ya)縮(suo)後(hou)排(pai)出。
氣鎮(zhen)裝置(可選):允(yun)許(xu)抽除(chu)少量(liang)可凝性(xing)蒸(zheng)氣(qi)(如(ru)水(shui)蒸(zheng)氣(qi)),增強設備(bei)的適應(ying)性。
7、過(guo)濾(lv)與(yu)分(fen)離系統
粗(cu)過(guo)濾(lv)器(qi):吸(xi)氣(qi)口(kou)處(chu)設有金(jin)屬(shu)絲(si)網(wang),阻(zu)擋固體(ti)顆粒進入泵(beng)內。
油分(fen)離器(qi):內置(zhi)高(gao)效油氣分(fen)離器(qi)及排(pai)氣過(guo)渡器(qi),減(jian)少(shao)油霧汙(wu)染(ran)並(bing)回收(shou)潤(run)滑(hua)油。
8、冷卻系統(部分(fen)型(xing)號配(pei)備(bei))
水(shui)冷設計(ji):某些(xie)大型(xing)或高性能機型(xing)采(cai)用泵(beng)殼內通(tong)冷(leng)卻水(shui)的方式降(jiang)低溫度,提(ti)升(sheng)極(ji)限(xian)真空(kong)度和運(yun)行效(xiao)率。