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安捷(jie)倫(lun)分(fen)子(zi)泵(beng)結(jie)構(gou)通常包括以下幾個主要(yao)組(zu)成部(bu)分(fen)
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安捷(jie)倫(lun)分(fen)子(zi)泵(beng)是壹(yi)種(zhong)高(gao)速旋(xuan)轉的(de)機械(xie)泵(beng),因(yin)此(ci)對(dui)平(ping)衡的要(yao)求(qiu)很(hen)高(gao),對(dui)固體(ti)異(yi)物非(fei)常(chang)脆弱(ruo),通常要(yao)在(zai)分(fen)子泵(beng)的入(ru)口處安裝金屬過濾(lv)網(wang)。分(fen)子(zi)泵(beng)是利(li)用(yong)高(gao)速旋(xuan)轉的(de)轉子(zi)把(ba)動(dong)量傳(chuan)輸給(gei)氣(qi)體(ti)分子(zi),使(shi)之(zhi)獲得定向(xiang)速度,從(cong)而(er)被壓(ya)縮、被驅(qu)向排(pai)氣口後(hou)為(wei)前(qian)級抽(chou)走的壹(yi)種(zhong)真(zhen)空(kong)泵(beng)。常規(gui)的(de)分(fen)子(zi)泵(beng)使用(yong)軸承(cheng)來確保葉(ye)片的(de)高(gao)速旋(xuan)轉。新(xin)型的(de)分子泵(beng)采(cai)用(yong)磁懸浮構(gou)造,使得葉(ye)片轉(zhuan)速不斷(duan)提(ti)高(gao)的同(tong)時,更(geng)使(shi)分子泵(beng)適合超高(gao)真空(kong)系統(tong),也延(yan)長了(le)分(fen)子(zi)泵(beng)的使(shi)用(yong)壽命。
1、泵(beng)體(ti):泵(beng)體(ti)是分(fen)子(zi)泵(beng)的主(zhu)體(ti)部(bu)分(fen),通常由(you)不銹(xiu)鋼(gang)等材料(liao)制(zhi)成。它(ta)包含了泵(beng)的內(nei)部(bu)結(jie)構(gou)和(he)各(ge)種(zhong)組(zu)件。
2、軸(zhou)向(xiang)壓(ya)縮器:軸向(xiang)壓(ya)縮器位於泵(beng)體(ti)的入(ru)口處,用(yong)於提(ti)高(gao)氣體(ti)的壓(ya)力,並(bing)將(jiang)其引導到(dao)分(fen)子(zi)泵(beng)的轉(zhuan)子。
3、離心壓(ya)縮器:離心壓(ya)縮器安裝在(zai)軸(zhou)向壓(ya)縮器後(hou)面(mian),其作(zuo)用(yong)是進(jin)壹(yi)步增加(jia)氣體(ti)的壓(ya)力並(bing)使(shi)其達到(dao)更(geng)高(gao)速度。
4、分(fen)子(zi)轉子:分(fen)子轉(zhuan)子(zi)是(shi)分(fen)子泵(beng)的核心部(bu)件(jian),由(you)多(duo)個旋(xuan)轉的(de)葉(ye)片組(zu)成。當氣體(ti)經過轉子時,分子與(yu)葉(ye)片碰(peng)撞(zhuang),並(bing)被推向泵(beng)的出口方(fang)向(xiang)。
5、靜(jing)態定(ding)子:靜(jing)態定(ding)子環(huan)繞著(zhe)分子(zi)轉子,它(ta)們的形(xing)狀(zhuang)和間(jian)隙與(yu)分子轉子相匹(pi)配(pei),以確(que)保良好的(de)密封(feng)性(xing)能(neng)。
6、冷阱(jing):冷阱(jing)通常位於分子(zi)泵(beng)的出口處,用(yong)於捕(bu)獲和(he)冷(leng)凝(ning)未被抽(chou)取(qu)的氣體(ti)或蒸(zheng)汽(qi)分子(zi)。
7、控制系統(tong):分(fen)子(zi)泵(beng)還(hai)包括壹(yi)個控制(zhi)系統(tong),用(yong)於監(jian)測和(he)控制(zhi)泵(beng)的運行狀(zhuang)態,如(ru)轉速、溫度和壓(ya)力等參(can)數。
