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真空泵是(shi)利(li)用機(ji)械、物理、化(hua)學(xue)、物理化(hua)學(xue)等方法(fa)對(dui)容(rong)器(qi)進行抽氣,以(yi)獲(huo)得(de)和維(wei)持(chi)真空的裝(zhuang)置(zhi)。真空泵和(he)其(qi)他設(she)備(bei)(如(ru)真(zhen)空容器(qi)、真(zhen)空閥(fa)、真(zhen)空測量(liang)儀(yi)表(biao)、連(lian)接(jie)管路(lu)等)組(zu)成(cheng)真(zhen)空系統(tong),廣泛(fan)應用於(yu)電(dian)子、冶(ye)金、化(hua)工(gong)、食(shi)品(pin)、機(ji)械、醫(yi)藥(yao)、航天(tian)等部門(men)。真空泵按(an)結(jie)構(gou)類型可(ke)分為機(ji)械式(shi),噴(pen)射(she)式(shi)和(he)吸著(zhe)式(shi),凡(fan)是利(li)用機(ji)械運動(dong)來(lai)獲(huo)得(de)真空的泵(beng)稱(cheng)為機(ji)械真空泵。按(an)其(qi)工(gong)作(zuo)原(yuan)理(li)及機(ji)構(gou)特(te)點(dian)分為變容真(zhen)空泵和(he)動(dong)量(liang)傳(chuan)輸泵,變容式(shi)真(zhen)空泵是(shi)利(li)用泵(beng)腔容積的周期(qi)性變(bian)化(hua)來(lai)完成(cheng)吸(xi)氣和(he)排氣以(yi)達(da)到(dao)抽(chou)氣目(mu)的的真(zhen)空泵。這(zhe)種泵(beng)分為旋轉式(shi)和(he)往復式(shi)兩(liang)種,旋轉式(shi)真(zhen)空泵利(li)用泵(beng)腔內轉子部件的旋轉運(yun)動(dong)將氣體(ti)吸入(ru)、壓縮(suo)並(bing)排出,主(zhu)要有(you)有以(yi)下(xia)4 類:(1)液環(huan)真(zhen)空泵;(2)油封(feng)式(shi)真(zhen)空泵;(3)幹式(shi)真(zhen)空泵;(4)羅茨(ci)真空泵。液(ye)環(huan)真(zhen)空泵將(jiang)帶(dai)有(you)多(duo)葉(ye)片(pian)的轉(zhuan)子偏心(xin)裝(zhuang)在(zai)泵殼內。當它旋轉時(shi),把工(gong)作(zuo)液(ye)體(ti)拋向(xiang)泵(beng)殼(ke)形成(cheng)與泵(beng)殼(ke)同(tong)心(xin)的液(ye)環(huan),液(ye)環(huan)同(tong)轉(zhuan)子葉(ye)片(pian)形成(cheng)了(le)容積(ji)周期(qi)變(bian)化(hua)的幾(ji)個小的旋轉變(bian)容(rong)吸排氣腔。工(gong)作(zuo)液(ye)體(ti)通常(chang)為(wei)水(shui)或油,所(suo)以(yi)亦(yi)稱(cheng)為(wei)水(shui)環(huan)真(zhen)空泵或(huo)油環(huan)真(zhen)空泵。用水(shui)作工(gong)作(zuo)液(ye),極限(xian)壓強(qiang)只能達到(dao)2000~4000 Pa。用油作工(gong)作(zuo)液(ye),可(ke)達130 Pa.
機(ji)械真空泵分類
2、油式(shi)旋片(pian)真空泵機(ji)構(gou)與工(gong)作(zuo)原(yuan)理(li)
油式(shi)旋片(pian)真空泵主(zhu)要由(you)定(ding)子、轉(zhuan)子、旋片(pian)、定蓋(gai)、彈(dan)簧等零件組(zu)成(cheng)。在(zai)泵腔內偏心(xin)地(di)安裝帶(dai)有(you)旋片(pian)的轉(zhuan)子,轉(zhuan)子槽(cao)中(zhong)裝有(you)旋片(pian)。轉子和(he)旋片(pian)將定(ding)子腔分成(cheng)吸(xi)氣和(he)排氣兩(liang)部分。當轉子在(zai)定子腔內旋轉時(shi)周期(qi)性地(di)將(jiang)進氣口(kou)方面(mian)容積(ji)逐(zhu)漸(jian)擴(kuo)大(da)而(er)吸入(ru)氣體(ti),同時(shi)逐(zhu)漸縮(suo)小(xiao)排氣口(kou)壹側(ce)的容(rong)積(ji)將已(yi)吸入的氣體(ti)壓縮(suo)並(bing)從(cong)排(pai)氣口(kou)排出[4]。旋轉時(shi)將(jiang)真空泵油拋向(xiang)泵(beng)殼(ke)形成(cheng)於(yu)泵(beng)殼(ke)同(tong)心(xin)的油環(huan),油環(huan)同(tong)轉(zhuan)子葉(ye)片(pian)形成(cheng)了(le)容積(ji)周期(qi)變(bian)化(hua)的幾(ji)個小的旋轉變(bian)容(rong)吸排氣腔。圖2 所(suo)示為(wei)油式(shi)旋片(pian)泵的工(gong)作(zuo)原(yuan)理(li)示意(yi)圖,泵其結構是利(li)用偏心(xin)地(di)裝(zhuang)在(zai)定子腔內的轉(zhuan)子(轉子的外(wai)圓(yuan)與定(ding)子的內(nei)表(biao)面(mian)相切兩者(zhe)之(zhi)間(jian)的間(jian)隙(xi)非(fei)常(chang)小(xiao))和轉子槽(cao)內滑(hua)動(dong)的借(jie)助(zhu)彈(dan)簧張(zhang)力(li)和(he)離(li)心(xin)力(li)緊貼(tie)在(zai)定子內(nei)壁的兩(liang)塊(kuai)旋片(pian),當轉(zhuan)子旋轉時(shi),始終沿定子的內(nei)壁滑(hua)動(dong)。
東(dong)莞(guan)市揖電(dian)真(zhen)空機(ji)電(dian)設(she)備(bei)有(you)限(xian)公(gong)司
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