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真空(kong)泵(beng)的發展歷(li)史
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隨(sui)著(zhe)真空(kong)應(ying)用(yong)的發展，真空(kong)泵(beng)的種(zhong)類(lei)已發(fa)展了(le)很(hen)多種(zhong)，其抽(chou)速從每秒(miao)零(ling)點幾(ji)升到每秒(miao)幾(ji)十(shi)萬(wan)、數百萬(wan)升。隨著(zhe)真空(kong)技(ji)術在生(sheng)產和(he)科學研究領域中(zhong)對其應(ying)用(yong)壓強(qiang)範(fan)圍(wei)的要(yao)求(qiu)越(yue)來(lai)越寬，大(da)多需(xu)要(yao)由幾種(zhong)真空(kong)泵(beng)組成(cheng)真(zhen)空(kong)抽(chou)氣系(xi)統共(gong)同(tong)抽(chou)氣後(hou)才(cai)能(neng)滿(man)足(zu)生(sheng)產和(he)科學研究過(guo)程(cheng)的要(yao)求(qiu)，由於真空應(ying)用(yong)部門(men)所涉(she)及(ji)的工作壓力(li)的範(fan)圍(wei)很(hen)寬，因(yin)此任何壹種(zhong)類(lei)型的真空泵(beng)都不(bu)可(ke)能(neng)*適用(yong)於(yu)所有的工作壓力(li)範(fan)圍(wei)，只(zhi)能(neng)根(gen)據不(bu)同(tong)的工作壓力(li)範(fan)圍(wei)和(he)不(bu)同(tong)的工作要(yao)求(qiu)，使(shi)用不(bu)同(tong)類(lei)型的真空泵(beng)。為了(le)使(shi)用方便和(he)各(ge)種(zhong)真空(kong)工(gong)藝(yi)過(guo)程(cheng)的需(xu)要(yao)，有時(shi)將(jiang)各(ge)種(zhong)真空(kong)泵(beng)按其(qi)性(xing)能(neng)要(yao)求(qiu)組(zu)合(he)起(qi)來(lai)，以機組(zu)型(xing)式應(ying)用(yong)。常用真(zhen)空(kong)泵(beng)包括幹式螺(luo)桿真(zhen)空泵(beng)、水(shui)環(huan)泵(beng)、往復(fu)泵(beng)、滑閥(fa)泵(beng)、旋片泵(beng)、羅茨泵(beng)和(he)擴散泵(beng)等，這(zhe)些(xie)泵(beng)是我國國民(min)經(jing)濟各(ge)行業(ye)應(ying)用(yong)真空工(gong)藝(yi)過(guo)程(cheng)中(zhong)不(bu)可(ke)少(shao)的主力(li)泵(beng)種(zhong)。近(jin)年(nian)來(lai)， 伴隨(sui)著(zhe)我國(guo)經(jing)濟持續高(gao)速發(fa)展，真空(kong)泵(beng)相關(guan)下(xia)遊應(ying)用(yong)行業(ye)保(bao)持快(kuai)速增(zeng)長勢(shi)頭(tou)，同(tong)時(shi)在真(zhen)空(kong)泵(beng)應(ying)用(yong)領域不(bu)斷(duan)拓(tuo)展等因(yin)素(su)的共(gong)同(tong)拉(la)動下(xia)，我(wo)國真(zhen)空泵(beng)行業(ye)實現(xian)了(le)持續穩定(ding)地(di)快(kuai)速的發展。
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