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        1. 技(ji)術文章(zhang)
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                 萊寶(bao)真(zhen)空(kong)泵(beng)真(zhen)空(kong)設備在所(suo)有半導(dao)體生產(chan)過程中發揮著極為(wei)重(zhong)要(yao)的(de)作用,針(zhen)對(dui)特(te)殊的(de)生(sheng)產要(yao)求必(bi)須選(xuan)擇(ze)適(shi)合的(de)真空(kong)設備。過去(qu)的幾(ji)年(nian)裏,為*半導體(ti)行業(ye)需(xu)求,我(wo)們(men)縮短產(chan)品開發周(zhou)期(qi),更加(jia)迅速的推(tui)出(chu)新的(de)產(chan)品,大大提(ti)高(gao)了我們(men)的服(fu)務(wu)質量(liang)。萊寶(bao)真(zhen)空(kong)泵(beng)需(xu)在真(zhen)空(kong)條(tiao)件(jian)下操作的分析儀器行業(ye)是(shi)真空(kong)設備醉大和醉復雜的市場(chang)之(zhi)壹。這壹(yi)市場(chang)包括平面(mian)分析(xi)儀器家(jia)族,質譜分光光度計(ji),設計(ji)各異的電(dian)子顯微鏡和(he)氦檢(jian)漏(lou)儀。我們(men)的(de)產品類型眾(zhong)多,可適用(yong)於實(shi)驗室研(yan)發及(ji)*簡(jian)單(dan)的(de)桌面(mian)操作。壹些關(guan)鍵的(de)性能(neng)參(can)數(shu)顯示(shi)出(chu)萊寶(bao)真(zhen)空(kong)泵(beng)、測量(liang)裝置及(ji)部件(jian)的工(gong)作能(neng)力(li),緊(jin)湊的結構設計(ji),高超的技(ji)術水(shui)平和(he)良好的穩(wen)定性能(neng)。
            萊寶(bao)真(zhen)空(kong)泵(beng)結構介(jie)紹(shao):
            萊寶(bao)真(zhen)空(kong)泵(beng)安(an)裝在泵(beng)體(ti)中的偏(pian)心(xin)轉(zhuan)子)有三塊葉(ye)片,它(ta)們(men)把泵分(fen)成三(san)個(ge)隔室,每個(ge)隔室的容積(ji)隨(sui)轉子的(de)旋(xuan)轉周(zhou)期(qi)性的(de)變(bian)化(hua)。
            當轉(zhuan)子旋(xuan)轉(zhuan)時,抽(chou)空(kong)腔的進(jin)氣部(bu)分容(rong)積(ji)擴大,將(jiang)氣體(ti)從進氣口吸入(ru),氣(qi)體經過空(kong)氣(qi)濾芯,打(da)開的(de)防(fang)返油閥進(jin)入(ru)腔泵。當轉(zhuan)子進(jin)壹(yi)步旋(xuan)轉,葉片從(cong)吸入(ru)口將(jiang)泵腔部分(fen)分開。這部(bu)分(fen)泵(beng)腔容積(ji)減(jian)少,氣體(ti)被壓(ya)縮。氣體(ti)在略(lve)高(gao)於大氣壓(ya)時經過排氣閥從(cong)泵(beng)腔排出。
            油(you)在註入(ru)泵(beng)腔起密(mi)封(feng)、潤滑和泵(beng)冷卻(que)的作用。壓(ya)縮氣體(ti)夾帶(dai)的油(you)在油(you)箱內由於折轉(zhuan)而(er)被初(chu)步捕(bu)集。而(er)後(hou)在出(chu)口油(you)霧(wu)分離器中被*過濾。於是(shi),排氣中油含量(liang)下降(jiang)至(zhi)低(di)於可見程度。

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