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真空泵(beng)的工(gong)作(zuo)原(yuan)理-氣體捕(bu)集泵
更新(xin)更(geng)新(xin)時(shi)間(jian)：2019-03-13 瀏(liu)覽次數(shu)：5091
這(zhe)種泵是壹(yi)種(zhong)使(shi)氣(qi)體分子被(bei)吸附(fu)或(huo)凝結在(zai)泵的內表面(mian)上，從(cong)而(er)減(jian)小(xiao)了(le)容(rong)器(qi)內的(de)氣(qi)體分子數(shu)目(mu)而(er)達(da)到抽氣(qi)目(mu)的的真空泵(beng)，有以(yi)下(xia)幾(ji)種型式。
1、吸(xi)附(fu)泵
它主要依(yi)靠(kao)具有大(da)表面(mian)的吸(xi)附(fu)劑（如多孔(kong)物(wu)質）的物(wu)理(li)吸(xi)附(fu)作用(yong)來抽氣(qi)的(de)壹(yi)種(zhong)捕(bu)集式真空泵(beng)。
2、吸氣(qi)劑(ji)泵(beng)
它是壹(yi)種(zhong)利(li)用(yong)吸氣(qi)劑以(yi)化(hua)學結合(he)方式捕(bu)獲氣(qi)體的(de)真(zhen)空泵(beng)。吸氣(qi)劑(ji)通常(chang)是以(yi)塊(kuai)狀或(huo)沈(chen)積(ji)新(xin)鮮(xian)薄(bo)膜形(xing)式存(cun)在的金(jin)屬(shu)或(huo)合金(jin)。升(sheng)華泵即屬(shu)於(yu)這(zhe)種型式。
3、吸(xi)氣劑(ji)離子泵(beng)
它是使(shi)被(bei)電(dian)離(li)的氣體通過(guo)電(dian)磁(ci)場(chang)或(huo)電(dian)場(chang)的(de)作用(yong)吸附(fu)在有(you)吸(xi)氣材(cai)料的(de)表面(mian)上，以(yi)達(da)到抽氣(qi)的(de)目的。它有如下(xia)幾(ji)種型式。
(1)蒸(zheng)發離(li)子泵(beng)：泵(beng)內被(bei)電(dian)離(li)的氣體吸(xi)附(fu)在以(yi)間斷(duan)或(huo)連(lian)續(xu)方式(shi)升(sheng)華（或(huo)蒸發(fa)）而(er)覆在(zai)泵內壁(bi)的(de)吸氣(qi)材(cai)料上(shang)，以(yi)實現抽氣(qi)的(de)壹(yi)種(zhong)真(zhen)空泵(beng)。
(2)濺射(she)離子泵(beng)：泵(beng)內被(bei)電(dian)離(li)的氣體吸(xi)附(fu)在由(you)陰(yin)極(ji)連(lian)續(xu)濺射(she)散出(chu)來的吸氣(qi)材(cai)料上(shang)，以(yi)實現抽氣(qi)目(mu)的的壹(yi)種(zhong)真(zhen)空泵(beng)。
4、低溫泵
利(li)用(yong)低溫表面(mian)捕(bu)集氣體的真空泵(beng)
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